半導(dǎo)體前驅(qū)體

半導(dǎo)體前驅(qū)體是先進(jìn)制程中薄膜沉積（ALD/CVD）環(huán)節(jié)的核心原料。高純硅烷類前驅(qū)體用于制備含硅介質(zhì)膜、阻擋層與硬掩膜等薄膜，產(chǎn)品純度、金屬雜質(zhì)與顆?？刂浦苯記Q定晶圓良率。依帕克斯高純系列產(chǎn)品從合成、純化到充裝全流程執(zhí)行嚴(yán)格的潔凈管理，金屬離子總量控制在 ppb 級別，可滿足半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體（顯示面板、LED、光伏電池）客戶對前驅(qū)體材料的高一致性與穩(wěn)定性要求，并支持定制規(guī)格開發(fā)。