EB-999 六甲基二硅氮烷 HMDS CAS 999-97-3 | 光刻膠粘結(jié)促進(jìn)劑

EB-999 由兩個(gè)三甲基硅基(CH?)?Si—通過 NH 橋接而成,結(jié)構(gòu)對(duì)稱、位阻適中。其 Si–N 鍵可與晶圓表面的 Si–OH 羥基反應(yīng),置換出氨并生成疏水的三甲基硅基化表面,使光刻膠與晶圓的粘附力顯著提升。

訪問次數(shù)： 1786

價(jià)格：我要詢價(jià)

CAS No.： 999-97-3

更新日期： 2025-10-28

在線留言

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品描述

EB-999 由兩個(gè)三甲基硅基(CH?)?Si—通過 NH 橋接而成,結(jié)構(gòu)對(duì)稱、位阻適中。其 Si–N 鍵可與晶圓表面的 Si–OH 羥基反應(yīng),置換出氨并生成疏水的三甲基硅基化表面,使光刻膠與晶圓的粘附力顯著提升,防止顯影時(shí)的浮膠與駐波;同時(shí)它是有機(jī)合成中最常用的硅烷化試劑之一,可對(duì)羥基、胺基等活性氫官能團(tuán)引入三甲基硅基保護(hù),也是重要的有機(jī)合成中間體。

EB-999(六甲基二硅氮烷)鍵線式結(jié)構(gòu)圖 — EB-999 化學(xué)結(jié)構(gòu)式:[(CH?)?Si]?NH

EB-999 技術(shù)指標(biāo)
化學(xué)名稱	六甲基二硅氮烷(六甲基二硅烷胺,Hexamethyldisilazane,簡(jiǎn)稱 HMDS)
CAS No.	999-97-3
EINECS號(hào)	213-668-5
分子式 / 分子量	C?H??NSi? / 161.39
外觀	常溫下無色透明液體

※ 以上為典型值,批檢數(shù)據(jù)以出廠 COA / SDS 為準(zhǔn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

光刻膠粘結(jié)促進(jìn)(底涂增粘):晶圓光刻前以旋涂、浸漬或氣相法涂布 HMDS 并熱烘,將表面羥基轉(zhuǎn)化為三甲基硅基,提升光刻膠附著力,防止浮膠與駐波。
晶圓與顆粒表面硅烷化:對(duì)二氧化硅、玻璃、氧化物粉體等進(jìn)行疏水化表面處理。
硅烷化試劑:有機(jī)合成中對(duì)羥基、胺基等官能團(tuán)引入三甲基硅基(TMS)保護(hù)。
有機(jī)合成中間體:用于氮雜環(huán)硅烷化、硅胺合成等多種反應(yīng)體系。

使用方法與添加量

晶圓底涂(經(jīng)典工藝):晶圓經(jīng)脫水烘焙后,旋涂、浸漬或氣相法涂布 EB-999,再于 150~200 ℃ 熱板烘 60~90 秒;液相增粘也可按 HMDS:溶劑 10:1~20:1 稀釋后旋涂。

液相硅烷化:按底物用量的 1.0~2.5 當(dāng)量加入,在無水條件與氮?dú)獗Ｗo(hù)下反應(yīng),過量部分經(jīng)減壓回收;具體用量與溫度按反應(yīng)體系確定。

包裝與儲(chǔ)存

密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽與酸堿;硅氮烷對(duì)水汽敏感,開封后建議充氮密封并盡快用完。標(biāo)準(zhǔn)包裝:20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC(按產(chǎn)品實(shí)際可選),可按客戶要求提供其他規(guī)格。未開封常規(guī)有效期 12 個(gè)月。

常見問題(FAQ)

EB-999 作光刻膠底涂(HMDS prime)怎么用?溫度和時(shí)間多少?

經(jīng)典工藝:晶圓經(jīng)脫水烘焙后,采用旋涂、浸漬或氣相法涂布 EB-999,再在 150~200 ℃ 熱板上烘 60~90 秒,使表面羥基轉(zhuǎn)化為三甲基硅基,提升光刻膠附著力并抑制駐波與浮膠;液相增粘也可按 HMDS:溶劑 10:1~20:1 稀釋后旋涂。具體參數(shù)按光刻膠體系與產(chǎn)線實(shí)測(cè)確定。

EB-999 與 EB-3101、EB-3601、EB-2101 這四個(gè)硅氮烷怎么選?

EB-999(HMDS)為三甲基直鏈結(jié)構(gòu),無 Si–H 與乙烯基,工藝成熟,是光刻膠底涂增粘的首選;EB-2101 每個(gè)硅帶 1 個(gè) Si–H,活性更高,適合表面疏水化與 SiN 薄膜前驅(qū)體;EB-3101 帶乙烯基,用于光學(xué)鍍膜交聯(lián)與硅樹脂合成;EB-3601 為環(huán)狀三硅氮烷,無機(jī)產(chǎn)率高,用作陶瓷前驅(qū)體。

EB-999 對(duì)水汽敏感嗎?如何控制工藝環(huán)境?

敏感。EB-999 的 Si–N 鍵遇水汽會(huì)水解生成三甲基硅醇并釋放氨類物質(zhì),進(jìn)一步縮合生成六甲基二硅氧烷,導(dǎo)致增粘效果下降。建議操作環(huán)境濕度控制在 40% RH 以下,晶圓先經(jīng)脫水烘焙再底涂;取料后立即充氮密封,避免反復(fù)開蓋吸潮。

EB-999 應(yīng)如何儲(chǔ)存?有效期多久?

密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽與酸堿。標(biāo)準(zhǔn)包裝為 20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC。未開封常規(guī)有效期 12 個(gè)月;開封后建議充氮密封并盡快用完,出現(xiàn)渾濁或明顯氨味增大后不建議再用于光刻底涂等關(guān)鍵體系。