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EB-3601 三甲基三乙烯基環(huán)三硅氮烷 CAS 5505-72-6

EB-3601 的'環(huán)三硅氮烷'指由硅(Si)和氮(N)原子交替組成的六元環(huán)骨架,三個甲基(-CH?)與三個乙烯基(-CH=CH?)分別掛在三個硅原子上。在熱解或等離子體作用下。

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CAS No.： 5505-72-6

更新日期： 2025-10-30

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產(chǎn)品概述

產(chǎn)品描述

EB-3601 的"環(huán)三硅氮烷"指由硅(Si)和氮(N)原子交替組成的六元環(huán)骨架,三個甲基(-CH?)與三個乙烯基(-CH=CH?)分別掛在三個硅原子上。在熱解或等離子體作用下,環(huán)狀 Si–N 骨架可轉(zhuǎn)化為含硅碳氮的陶瓷膜層,使其成為陶瓷前驅(qū)體聚合物鍍膜與 SiN/SiC 薄膜沉積的分子前驅(qū)體;同時它也是化工生產(chǎn)中的重要中間體,可用于工業(yè)原材料生產(chǎn)。

EB-3601(三甲基三乙烯基環(huán)三硅氮烷)鍵線式結(jié)構(gòu)圖 — EB-3601 化學(xué)結(jié)構(gòu)式:[(CH?)(CH?=CH)Si—NH]?(環(huán)三硅氮烷)

EB-3601 技術(shù)指標(biāo)
化學(xué)名稱	三甲基三乙烯基環(huán)三硅氮烷(Trimethyltrivinylcyclotrisilazane,簡稱 VTMS)
CAS No.	5505-72-6
分子式 / 分子量	C?H??N?Si? / 255.54
結(jié)構(gòu)特點	硅氮交替六元環(huán),每個硅帶 1 個甲基與 1 個乙烯基

※ 以上為典型值,批檢數(shù)據(jù)以出廠 COA / SDS 為準(zhǔn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

陶瓷前驅(qū)體鍍膜:作為環(huán)狀硅氮烷前驅(qū)體,經(jīng)熱解或等離子體轉(zhuǎn)化獲得 SiCN/SiN 陶瓷膜層,用于光學(xué)與結(jié)構(gòu)部件的陶瓷涂層。
SiN/SiC 薄膜沉積:作為氣相或溶液法沉積含硅薄膜的分子前驅(qū)體,用于半導(dǎo)體及微電子工藝。
半導(dǎo)體等離子體工藝:官網(wǎng)注明可用作半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子體腐蝕劑。
化工生產(chǎn)中間體:用于工業(yè)原材料生產(chǎn),合成其他硅氮烷及有機(jī)硅材料。

使用方法與添加量

溶液法鍍膜:用甲苯等無水溶劑配成 0.5%~5% 的稀溶液,旋涂或浸漬成膜,在高純氮氣保護(hù)下于 300~800 ℃ 熱解轉(zhuǎn)化為陶瓷膜層;起步濃度建議從 1% 左右試起。

氣相沉積:以惰性載氣鼓泡或汽化引入沉積腔,沉積溫度與時間按膜層工藝設(shè)定;全程保持系統(tǒng)干燥,防止水汽進(jìn)入。

包裝與儲存

密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽與酸堿;硅氮烷對水汽敏感,開封后建議充氮密封并盡快用完。標(biāo)準(zhǔn)包裝:20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC(按產(chǎn)品實際可選),可按客戶要求提供其他規(guī)格。未開封常規(guī)有效期 12 個月。

常見問題(FAQ)

EB-3601 用于陶瓷前驅(qū)體鍍膜時怎么操作?配比多少?

溶液法鍍膜可將 EB-3601 用甲苯等無水溶劑配成 0.5%~5% 的稀溶液,旋涂或浸漬后在高純氮氣保護(hù)下于 300~800 ℃ 熱解,轉(zhuǎn)化為含硅碳氮的陶瓷膜層;氣相工藝則以惰性載氣汽化引入沉積腔。起步濃度建議從 1% 左右試起,依據(jù)膜厚與致密度逐步調(diào)整。

EB-3601 與 EB-3101、EB-2101、EB-999 這四個硅氮烷怎么選?

四者同屬硅氮烷但骨架不同:EB-3601 為環(huán)狀三硅氮烷(3 個硅、3 個氮組成六元環(huán),各帶 1 個甲基與 1 個乙烯基),無機(jī)產(chǎn)率高,適合陶瓷前驅(qū)體與等離子體工藝;EB-3101 為直鏈乙烯基二硅氮烷,用于光學(xué)鍍膜交聯(lián)與硅樹脂合成;EB-2101 為直鏈四甲基二硅氮烷,主打表面疏水化;EB-999(HMDS)是經(jīng)典光刻膠底涂增粘劑。

EB-3601 對水汽敏感嗎?如何控制工藝環(huán)境?

敏感。EB-3601 的環(huán)狀 Si–N 骨架遇水汽會逐步水解開環(huán)并釋放氨類物質(zhì),影響前驅(qū)體純度與膜層質(zhì)量。建議操作環(huán)境濕度控制在 40% RH 以下,溶劑與基片預(yù)先脫水,配好的鍍膜液現(xiàn)配現(xiàn)用并在 8 小時內(nèi)用完;料瓶取用后充氮密封,避免反復(fù)開蓋吸潮。

EB-3601 應(yīng)如何儲存?有效期多久?

密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽與酸堿。標(biāo)準(zhǔn)包裝為 20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC。未開封常規(guī)有效期 12 個月;開封后建議充氮密封并在短期內(nèi)用完,出現(xiàn)渾濁或明顯增粘后不建議再用于陶瓷鍍膜等關(guān)鍵體系。