



產(chǎn)品概述
EB-2101 由兩個(gè)二甲基甲硅烷基(CH?)?HSi—通過(guò) NH 橋接而成,每個(gè)硅原子上帶 2 個(gè)甲基和 1 個(gè) Si–H。Si–N 鍵可與表面羥基反應(yīng),把二甲基甲硅烷基接到玻璃、二氧化硅、金屬氧化物及納米顆粒表面,顯著降低表面能、賦予疏水性;Si–H 與 Si–N 的組合也使其成為沉積 SiN 薄膜的分子前驅(qū)體和有機(jī)合成中的硅烷化試劑與還原劑。工業(yè)上由二甲基氯硅烷與氨反應(yīng)制得。

| 化學(xué)名稱 | 四甲基二硅氮烷(1,1,3,3-四甲基二硅氮烷、Bis(dimethylsilyl)amine,簡(jiǎn)稱 TMDS) |
|---|---|
| CAS No. | 15933-59-2 |
| 分子式 / 分子量 | C?H??NSi? / 133.34 |
| 化學(xué)穩(wěn)定性 | 化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定 |
※ 以上為典型值,批檢數(shù)據(jù)以出廠 COA / SDS 為準(zhǔn)。
液相表面處理(推薦):用無(wú)水乙醇、甲苯等溶劑配成 0.5%~2% 的稀溶液,潔凈基片浸漬 5~30 分鐘,再以無(wú)水溶劑漂洗并于 100~150 ℃ 烘烤固化;處理后水接觸角一般可達(dá) 100° 以上。
氣相法處理:將干燥基片置于 100~200 ℃ 的處理腔中,通入汽化的 EB-2101 反應(yīng) 10~60 分鐘;全程保持干燥,防止水汽進(jìn)入。具體參數(shù)按基材與工藝實(shí)測(cè)確定。
密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽、酸類與氧化劑;硅氮烷對(duì)水汽敏感,開(kāi)封后建議充氮密封并盡快用完。標(biāo)準(zhǔn)包裝:20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC(按產(chǎn)品實(shí)際可選),可按客戶要求提供其他規(guī)格。未開(kāi)封常規(guī)有效期 12 個(gè)月。
可將 EB-2101 用無(wú)水乙醇、甲苯等溶劑配成 0.5%~2% 的稀溶液,潔凈后的玻璃、二氧化硅或金屬氧化物基片浸漬 5~30 分鐘,再以無(wú)水溶劑漂洗并于 100~150 ℃ 烘烤固化;也可采用 100~200 ℃ 氣相法處理。處理后表面水接觸角一般可達(dá) 100° 以上,具體以實(shí)測(cè)為準(zhǔn)。
本批四個(gè)硅氮烷中,EB-2101 為直鏈四甲基二硅氮烷,每個(gè)硅上帶 2 個(gè)甲基和 1 個(gè) Si–H,活性高,適合表面疏水化與薄膜前驅(qū)體;EB-3101 帶乙烯基,用于光學(xué)鍍膜交聯(lián)與硅樹(shù)脂合成;EB-3601 為環(huán)狀三硅氮烷,用作陶瓷前驅(qū)體;EB-999(HMDS)為三甲基結(jié)構(gòu),是經(jīng)典光刻膠底涂增粘劑。
敏感。EB-2101 的 Si–N 鍵遇水會(huì)水解生成硅醇并放出氫氣,硅醇進(jìn)一步自縮合會(huì)導(dǎo)致溶液渾濁失效。溶劑、器皿與基片必須充分干燥,操作環(huán)境濕度建議控制在 40% RH 以下;處理液現(xiàn)配現(xiàn)用并在 8 小時(shí)內(nèi)用完,取料后立即充氮密封,避免反復(fù)開(kāi)蓋。
密封貯存于陰涼、通風(fēng)、干燥處,防潮避光,遠(yuǎn)離水汽、酸類與氧化劑。標(biāo)準(zhǔn)包裝為 20KG 紙箱、25KG 塑料桶、200KG 鐵桶或 IBC。未開(kāi)封常規(guī)有效期 12 個(gè)月;開(kāi)封后建議充氮密封并盡快用完,出現(xiàn)渾濁或明顯增粘后不建議再用于表面處理等關(guān)鍵體系。
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